خرید کتاب مطالعه مکانیسم پرداخت شیمیایی – مکانیکی مانع انتشار جدید Ru برای ترکیب مس:

[ad_1]

این پایان نامه برخی از مسائل حل نشده در فرآیند پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) مدارهای مجتمع را با استفاده از روتنیم (Ru) به عنوان یک ماده لایه جدید مانع بررسی می کند. به دنبال یک رویکرد سیستماتیک برای حل مشکلات حیاتی باقی مانده در CMP ، خصوصیات تریبو خوردگی و مکانیسم های حذف مس (مس) و Ru در یک سوسپانسیون بر اساس KIO4 در درجه اول بررسی می شود. این رساله متعاقباً خوردگی گالوانیک Cu / Ru را از منظر میکروبی جدید و درجا بررسی می کند و بر این اساس به دنبال روش هایی برای کاهش خوردگی با استفاده از مواد افزودنی مختلف به دوغاب است. نتایج ارائه شده در اینجا نشان دهنده پیشرفت های چشمگیر در تحقیقات بنیادی و فنی در CMP است و همچنین زمینه ای برای تحقیقات آینده فراهم می کند.

[ad_2]

read more